南京邮电大学学报(自然科学版)

作者：刘启发,张　琳,赵子岳,胡金高娃,宾璟橦,成谢锋

单位：南京邮电大学 通信与信息工程学院，江苏 南京　210003南京邮电大学 电子与光学工程、微电子学院，江苏 南京　210023南京邮电大学 电子与光学工程、微电子学院，江苏 南京　210023南京邮电大学 电子与光学工程、微电子学院，江苏 南京　210023南京邮电大学 通信与信息工程学院，江苏 南京　210003南京邮电大学 电子与光学工程、微电子学院，江苏 南京　210023

关键词：PDMS；单模波导；耦合光栅；布拉格条件；柔性光子器件

基金：中国博士后科学基金(2018M640507)和南京邮电大学自然科学基金(NY218046)资助项目

基于柔性材料聚二甲基硅氧烷(PDMS)的优异特性，面向紫外和可见光波段进行光子器件基础研究和设计。通过单模波导以消除模间传输损耗，基于布拉格条件的数值解析和有限元仿真优化设计耦合光栅结构，实现了光栅刻蚀比为0.9、周期为570 nm的峰值损耗为6 dB的单模波导集成型耦合光栅。结果表明，基于PDMS的芯片光子结构可以实现低损耗波导传输和高效波导光子获取。该工作为PDMS基柔性芯片光子集成器件奠定了理论和设计基础。

来源：2021年第6期

《南京邮电大学学报(自然科学版)》期刊编辑部

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